DFX-7型自动X射线回摆曲线定向仪

时间:2021-08-12 19:33   tags: X射线晶体回摆曲线定向仪  

1.用途:DFX-7型X射线定向仪是专门为蓝宝石及单晶硅行业设计
     的抛光片回摆曲线扫描设备。
2.主要特点
  DFX-7自动定向仪具有以下特点:
     a.带有计算机控制的自动测角仪,操作简单、灵活;只需点
击鼠标即可完成在A,C,R,M之间的定向角度改变, 方便用
户测量不同的晶向。
b.计数强度采用数字显示,加音频蜂鸣器,观察直观,减少了读数错误;
c.具有峰值放大的特殊积分器,提高了检测精度;
     d.模块化的电子线路,使维修简单;
     e.配备晶坨定向调整专用夹具;
      f.采用可控硅调整高压电流,避免了陶瓷电位器发热现象。
     g.自动测角仪用于抛光晶片回摆曲线扫描,由计算机对衍射峰
进行数据处理,自动分解Kα1,Kα2双峰。扫描范围在±5
分时测量约需18秒,软件自动确定峰位角及半峰宽,提供
人工辅助确定峰位及半峰宽功能,可以避免软件对数据过度
分峰处理所造成的误判。
  h.安全防护功能,本系统具有全封闭的X射线防护外罩,在测
量期间无X射线泄漏,以保护操作人员的安全,测量结束后,系统会自动关闭X射线光闸。
 
3.各部分构成及主要功能
HAX-7自动定向仪由以下部分构成:
     1) X射线发生器部分,包括高压发生器及X光管,该部分用于产生X射线。
  2)测角仪部分,包括左右两台测角仪,右测角仪用于晶片自动角度扫描的检查测量,由计算机对衍射峰进行数据处理,自动确定峰位角,重复精度远远高于人工测量,左测角仪用于手动晶棒检查测量。
  3)系统控制器部分,该部分由单片机构成的大规模集成电路板以及嵌入软件构成,实现对光闸的自动控制、右测角仪转动控制及驱动。
  4)计算机及软件部分,该部分包括计算机,以及专用自动控制及自动晶片定向软件包。
  5)安全防护功能,本系统具有全封闭的X射线防护外罩,在测量期间无X射线泄漏,以保护操作人员的安全,测量结束后,系统会自动关闭X射线光闸。
      
4.自动晶片测量
      右侧自动晶片测量,在开始测量前用鼠标左键点击左上边的
页面卡可以在两页之间切换。
在自动晶片测量页面的模式选择板中有2种模式:
1)强度测量:在峰位置测量光谱强度,通常用于仪器的调整。
2)区间扫描:在峰位置左右扫描光谱,并能自动确定峰位置角度,及该角与理论角度的偏差。

上图左侧为蓝宝石C面的Kα1峰,右边半高的是Kα2峰,当双峰有明显的分离时说明晶体生长良好,如果扫描图如下所示,Kα1与Kα2峰不能分开时说明晶体生长不良。
  
5. 晶片测量的数字结果及曲线图
   自动晶片测量的结果会在晶片测量结果页面自动显示,最多会保存100次晶片的测量结果,在表格中显示的数据并没有存到硬盘中,超过100个时会复盖前面的结果数据,如果想将结果存到硬盘中,可以点击保存结果钮,测量结果就可以存在D盘的晶片测量结果EXCEL表中,用户可以将结果表复制U盘中,进行进一步的处理。另外扫描的曲线图可以保存到硬盘中便于考贝使用。下面是保存到EXCEL表中的内容: 
晶片编号 测量方向 测量角度  角度偏差 半峰宽  测量时间
007 m+ 20.995 -0°8′42" 84" 2012-7-26 17:02
006 m+ 20.722 0°7′40" 69" 2012-7-26 16:59
005 m+ 21.022 -0°10′18" 75" 2012-7-26 16:55
003 m+ 20.836 0°0′50" 54" 2012-7-26 16:52
002 m+ 20.918 -0°4′4" 54" 2012-7-26 16:50
001 m+ 20.85 -0°0′0" 57" 2012-7-26 16:48
004a- a- 20.863 -0°0′46" 30" 2012-7-26 16:42
004a+ a+ 20.862 -0°0′42" 30" 2012-7-26 16:41
004m- m- 20.913 -0°3′46" 30" 2012-7-26 6:39
 
 
6.各组成部分及技术指标
 
 主要技术参数见下表:
项目 参数
电源 AC220V 50HZ,5A
功率 1.0 KW
管 电 压 30KVP
管 电 流 0-5mA
右侧自动测角仪重复精度 ±4″
最小角度读数 0.001°
左侧手动测角仪重复精度 ±30″
最小角度读数 10″