1.用途：DFX-7型X射线定向仪是专门为蓝宝石及单晶硅行业设计
     的抛光片回摆曲线扫描设备。
2.主要特点
  DFX-7自动定向仪具有以下特点：
     a.带有计算机控制的自动测角仪，操作简单、灵活；只需点
击鼠标即可完成在A,C,R,M之间的定向角度改变， 方便用
户测量不同的晶向。
b.计数强度采用数字显示，加音频蜂鸣器，观察直观，减少了读数错误；
c.具有峰值放大的特殊积分器，提高了检测精度；
     d.模块化的电子线路，使维修简单；
     e.配备晶坨定向调整专用夹具;
      f.采用可控硅调整高压电流，避免了陶瓷电位器发热现象。
     g.自动测角仪用于抛光晶片回摆曲线扫描，由计算机对衍射峰
进行数据处理，自动分解Kα1，Kα2双峰。扫描范围在±5
分时测量约需18秒，软件自动确定峰位角及半峰宽，提供
人工辅助确定峰位及半峰宽功能，可以避免软件对数据过度
分峰处理所造成的误判。
  h.安全防护功能，本系统具有全封闭的X射线防护外罩，在测
量期间无X射线泄漏，以保护操作人员的安全，测量结束后，系统会自动关闭X射线光闸。
 
3.各部分构成及主要功能
HAX-7自动定向仪由以下部分构成：
     1） X射线发生器部分,包括高压发生器及X光管，该部分用于产生X射线。
  2）测角仪部分，包括左右两台测角仪，右测角仪用于晶片自动角度扫描的检查测量，由计算机对衍射峰进行数据处理，自动确定峰位角，重复精度远远高于人工测量，左测角仪用于手动晶棒检查测量。
  3）系统控制器部分，该部分由单片机构成的大规模集成电路板以及嵌入软件构成，实现对光闸的自动控制、右测角仪转动控制及驱动。
  4）计算机及软件部分，该部分包括计算机，以及专用自动控制及自动晶片定向软件包。
  5）安全防护功能，本系统具有全封闭的X射线防护外罩，在测量期间无X射线泄漏，以保护操作人员的安全，测量结束后，系统会自动关闭X射线光闸。
      
4.自动晶片测量
      右侧自动晶片测量，在开始测量前用鼠标左键点击左上边的
页面卡可以在两页之间切换。
在自动晶片测量页面的模式选择板中有2种模式：
1）强度测量：在峰位置测量光谱强度，通常用于仪器的调整。
2）区间扫描：在峰位置左右扫描光谱，并能自动确定峰位置角度，及该角与理论角度的偏差。

上图左侧为蓝宝石C面的Kα1峰，右边半高的是Kα2峰，当双峰有明显的分离时说明晶体生长良好，如果扫描图如下所示，Kα1与Kα2峰不能分开时说明晶体生长不良。
  
5． 晶片测量的数字结果及曲线图
   自动晶片测量的结果会在晶片测量结果页面自动显示，最多会保存100次晶片的测量结果，在表格中显示的数据并没有存到硬盘中，超过100个时会复盖前面的结果数据，如果想将结果存到硬盘中，可以点击保存结果钮，测量结果就可以存在D盘的晶片测量结果EXCEL表中，用户可以将结果表复制U盘中，进行进一步的处理。另外扫描的曲线图可以保存到硬盘中便于考贝使用。下面是保存到EXCEL表中的内容： 

晶片编号	测量方向	测量角度	角度偏差	半峰宽	测量时间
007	m+	20.995	-0°8′42"	84"	2012-7-26 17:02
006	m+	20.722	0°7′40"	69"	2012-7-26 16:59
005	m+	21.022	-0°10′18"	75"	2012-7-26 16:55
003	m+	20.836	0°0′50"	54"	2012-7-26 16:52
002	m+	20.918	-0°4′4"	54"	2012-7-26 16:50
001	m+	20.85	-0°0′0"	57"	2012-7-26 16:48
004a-	a-	20.863	-0°0′46"	30"	2012-7-26 16:42
004a+	a+	20.862	-0°0′42"	30"	2012-7-26 16:41
004m-	m-	20.913	-0°3′46"	30"	2012-7-26 6:39

 
 
6.各组成部分及技术指标
 
 主要技术参数见下表：

项目	参数
电源	AC220V 50HZ，5A
功率	1.0 KW
管 电 压	30KVP
管 电 流	0-5mA
右侧自动测角仪重复精度	±4″
最小角度读数	0.001°
左侧手动测角仪重复精度	±30″
最小角度读数	10″