DFX-8型自动X射线定向仪

时间:2021-08-12 19:34   tags: 半自动X射线晶体定向仪  

1. 用途:DFX-8型X射线定向仪是专门为蓝宝石及单晶硅行业设计的
     晶片及晶棒定向测量设备。
 
 2. 特点:a.带有计算机控制的自动测角仪,操作简单、灵活;只需点击鼠标即可完成在A,C,R,M之间的定向角度改变, 方便用户测量不同的晶向。
  b.计数强度采用数字显示,加音频蜂鸣器,观察直观,减少了读数错误;
c.具有峰值放大的特殊积分器,提高了检测精度;
         d.模块化的电子线路,使维修简单;
         e.配备晶坨定向调整专用夹具;
          f.采用可控硅调整高压电流,避免了陶瓷电位器发热现象。
 
3.各部分构成及主要功能
DFX-8自动定向仪由以下部分构成:
     1) X射线发生器部分,包括高压发生器及X光管,该部分用于产生X射线。
  2)测角仪部分,包括左右两台测角仪,右测角仪用于晶片自动角度扫描的检查测量,由计算机对衍射峰进行数据处理,自动确定峰位角,重复精度远远高于人工测量,左测角仪用于手动晶棒检查测量。
  3)系统控制器部分,该部分由单片机构成的大规模集成电路板以及嵌入软件构成,实现对光闸的自动控制、右测角仪转动控制及驱动。
  4)计算机及软件部分,该部分包括计算机,以及专用自动控制及自动晶片定向软件包。
  5)安全防护功能,本系统具有全封闭的X射线防护外罩,在测量期间无X射线泄漏,以保护操作人员的安全,测量结束后,系统会自动关闭X射线光闸。
 
4.自动晶片测量
      右侧自动晶片测量,在开始测量前用鼠标左键点击左上边的页
面卡可以在两页之间切换。
在自动晶片测量页面的模式选择板中有2种模式:
1)强度测量:在峰位置测量光谱强度,通常用于仪器的调整。图3是强度测量的画面。
2)区间扫描:在峰位置左右扫描光谱,并能自动确定峰位置角度,及该角与理论角度的偏差。
      
确认测量条件输入正确后,点击“开始测量”钮,仪器开始自动进行扫描测量,测量结束后就会显示下图的画面:
  
如果扫描的图像如下图,说明该晶体生长时发生严重的位错,
甚至已经是多晶的情况了,这样的晶体完全没有必要进行加工流程了,通常晶体生长时会有较高的几率发生严重的位错,如果将这样的晶体一直加工到切片后期,会造成大量的浪费。因此在晶体加工前扫描衍射图像十分重要。
 

 5.自动测量结果的存储
自动测量的结果会在测量结果页面自动显示,最多会保存100
个晶面的测量结果,在表格中显示的数据并没有存到硬盘中,超过100个时会复盖前面的结果数据,如果想将结果存到硬盘中,可以点击保存结果钮,测量结果就可以存在D盘的晶片测量结果EXL表中,用户可以将结果表复制到U盘中,进行进一步的数据统计处理。
 
6. 主要技术参数见下表:
 
项目 参数
电源 AC220V 50HZ,5A
功率 1.0 KW
管 电 压 30KVP
管 电 流 0-5mA
右测角仪重复精度 ±10″
最小角度读数 0.002°
左测角仪重复精度 ±30″
最小角度读数 10″