DFX-500型X射线定向仪

时间:2021-08-12 19:34   tags: X射线晶体定向仪  

1. 用途:DFX-500型X射线定向仪是蓝宝石及单晶硅定向以及偏差测量的专用设备。
2. 特点:a.带有计算机控制的自动测角仪,操作简单、灵活;只需点击鼠标即可完成在A,C,R,M之间的定向角度改变, 方便用户测量不同取向的晶棒。
  b.计数强度采用数字显示,加音频蜂鸣器,观察直观,减少了读数错误;
c.具有峰值放大的特殊积分器,提高了检测精度;
         d.模块化的电子线路,使维修简单;
         e.配备晶坨定向调整专用夹具;
f.采用可控硅调整高压电流,避免了陶瓷电位器发热现象。
3.各部分构成及主要功能
a. 系统控制器部分
该部分由单片机构成的大规模集成电路板以及嵌入软件构成,实现对光闸的自动控制、测角仪转动控制及驱动。
  b. 计算机及软件部分
该部分包括名牌PC计算机,以及专用自动控制、自动晶面定向数据
处理软件包。 对于将要投入生产流程的晶坨,用户可以在初步确定
晶向后进行晶向的衍射光谱扫描测量,如下面(a)图所示的图像说
明该晶坨结晶良好,可以继续进行加工流程。
 

如果扫描的图像如下面的(b)图,说明该晶坨生长时发生严重的位
错,甚至已经是多晶的情况了,这样的晶坨完全没有必要进行加工流
程了,通常晶体生长时会有较高的几率发生严重的位错,如果将这样
的晶坨一直加工到切片后期,会造成大量的浪费。因此在晶坨加工前
扫描衍射图像十分重要。

                           图(b)
下图是在晶坨调整定向时的射线强度跟踪图,数字化加高度模拟条显示完全代替传统定向仪的模拟电流表指针。
 
C.自动测量结果的存储
自动测量的结果会在测量结果页面自动显示,最多会保存100个晶面的测
量结果,在表格中显示的数据并没有存到硬盘中,超过100个时会复盖前
面的结果数据,如果想将结果存到硬盘中,可以点击保存结果钮,测量结
果就可以存在D盘的晶片测量结果EXL表中,用户可以将结果表复制到U
盘中,进行进一步的数据统计处理。
 
 
4. 升降机构操作面板
   
    右下侧的升降机构操作面板上有管头上升与下降按钮,按下管头上升按钮管头可以自动上升,再次按下该按钮,立即停止,如果不按第2次,则管头自动上升到最高位置会自动停止。最高停止位置与晶坨夹具台面的高度达到550毫米,对于用户移动大尺寸晶坨十分方便。
按下管头下降按钮管头可以自动下降,如果已经放好晶坨,则管头会自动停止在晶体的测量位置,定位针是自由状态,在触到晶坨时没有碰撞力,不会损坏晶面,如果没有放晶坨,管头会停止到最低位置,不按第2次,则管头下降到最低位置会自动停止,在下降过程中再次按下该按钮,立即停止下降。
 
 
 
 
 
 
5.主要技术指标
 
项目 参数
电源 AC220V 50HZ,5A
功率 1.0 KW
管 电 压 30KVP
管 电 流 0-5mA
自动测角仪重复精度 ±10″
最小角度计算偏差数 2″
晶面定向精度 ±30″